| 电子检测单元和扫描电子显微镜 |
| WOPL09000073 2009-7-13 发明申请 |
| 2010-1-21 |
| 本发明的主题是一种电子检测器单元和扫描电子显微镜配备有这种单元，指定特别用于检测低能量的次级电子在所述的压力范围从值低于0.1Pa的值超过1000所述样品室中的PA。电子检测器单元，指定特别用于一种扫描电子显微镜与所述样品室中的可变气体压力P1包含所述中间室(13)的一个差分真空系统，其中所述差动压力P2被维持。所述中间室(13)被设置在所述的物镜(9)的所述扫描电子显微镜和密封具有一个垫圈(30)。在一制成在一个侧孔部分的所述中间室(13)，一个主光导向(11)中所形成的一杆制成的聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)被紧固的密封。在所述中间室(13)，一屏蔽套(4)在一个切割圆锥的形状被固定在与使用的绝缘插入。所述邻域中的所述的下孔的所述筛选管(4)，一个阳极(5)。在所述形成一金属环具有一薄的层覆盖的闪烁体(5)是设置和电分离。在所述的下部分所述中间室(13)是一由一较低的节流孔筛选小孔径(5)的直径被密封与一绝缘层间(29)。所述筛选管(4)和阳极(5)和所述下节流孔(15)被放置同轴地与所述的电子光学轴沿其中所述电子束EBEOA通过。在所述下节流孔(15)，一排斥孔(31)制成的金属箔以及一绝缘层间反射的光被与使用紧固(29)。所述的排斥的开口孔径的直径(31)是大于其下的节流孔径(15)和其对称轴线被移除了所述的电子光学轴EOA向所述主光导向(11)。 |
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