| 激光扫描显微镜 |
| EP09007622 2009-6-9 发明申请 |
| 2010-1-20 |
| 一激光扫描显微镜包括 : 一个物镜(2)用于观察试样(1); 一种焦平面的扫描透镜(3)所述相反侧上放置所述物镜的透镜(2)从所述试样(1)和其产生一个中间图像; 一反射镜(4)所述中间图像放置到所述的位置附近所述焦平面的扫描透镜(3); 一个扫描单元(5)扫描所述反射镜(4)在所述的光学轴方向; 和一个光瞳投影光学系统(8)突出所述瞳孔(6)所述物镜的透镜(2)到所述瞳孔(7)。所述焦平面的扫描透镜(3)和其中所述光瞳的投影倍率比是可变的。 |
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