| electrones检测系统和扫描electrone显微镜 |
| PL38565608 2008-7-14 发明申请 |
| 2010-1-18 |
| 本发明的主题是一种电子检测器单元和扫描电子显微镜装有该单元，预定尤其用于低能量二次电子的检测的在压力范围值低于0.1Pa至值1000中的样品室。电子检测器单元，预定尤其用于具有可变扫描电镜样品室中气体压力P1包含上述中间体室(13)差分真空系统，在其中的差动压力P2被保持。所述中间室(13)下方设有物镜(9)的扫描电子显微镜和密封垫圈(30)。在侧部孔中的中间室(13)，主导光体(11)在一种形式的由聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)杆卡接密封。在中间室(13)，遮蔽套(4)形状的开口锥体内固定与使用绝缘插入。在下孔附近的屏蔽管(4)，在阳极(5)在金属环的形式覆盖有薄膜层的闪烁体(5)设置和电性分离。在中间腔室的下部(13)通过下节流孔径的孔筛选(5)小直径的密封有绝缘夹层(29)。所述屏蔽管(4)和阳极(5)和下节流孔(15)同轴地放置在电子光轴EOA沿该电子梁EB通过。在下节流孔(15)，排斥孔(31)由金属箔以及使用反射光线的紧固绝缘夹层(29)。挡板的开口直径孔(31)大于所述下节流孔(15)和其对称轴线偏离电子光轴EOA向主光导(11)。 |
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