| 基于高速瞬时力控制的扫描探针显微镜的扫描方法及装置 |
| WOCN23080375 2023-3-9 发明申请 |
| 2024-2-1 |
| 一种基于高速瞬时力控制的扫描探针显微镜的扫描方法，其中，扫描探针显微镜包括探针单元(1023)，该方法包括以下步骤：获取探针单元(1023)与样品(9)之间的作用力信号(S11)；根据作用力信号计算真实幅值信号(S12)；获取设定幅值信号(S13)；获取第一正弦信号；并根据真实幅值信号、设定幅值信号和第一正弦信号得到目标作用力信号(S14)；依据目标作用力信号以目标样品扫描模式扫描样品(9)的表面(S15)；目标样品扫描模式表征了在目标作用力信号的指示下扫描样品(9)表面的工作模式。该方法解决了峰值力轻敲频率低以及扫描范围受限制的问题，在保证扫描范围的同时，实现了高速瞬时力轻敲和机械特性测量。 |
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