| 聚焦装置和显微镜装置 |
| JP2008166870 2008-6-26 发明申请 |
| 2010-1-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一聚焦装置能够进行适当的聚焦。溶液 : 一个线传感器22接收从样品反射的光2区域22a至22c中具有不同光学路径长度和也，被设置在一方向正交于所述纵向方向的一狭缝图像通过狭缝形成AF光。一圆柱形透镜20被设置在前所述区域22a的B，使得所述纵向方向的所述AF光被反射后通过所述样品的入射狭缝2具有一透镜的曲率是与该方向对准。一对比度信号放大电路放大所述图像的对比度信号表示所述对比度值的所述对比度AF由该样品2反射的光在该区域22a和22c通过一个增益对应到该水平移量的所述狭缝图像投影到所述区域22b通过所述圆柱形透镜20。垂直驱动部第一之间的距离调整物镜3和样品2在所述所述放大的对比度信号的基础。所存在的装置是适用于一显微镜。版权 : (C)2010，inpit |
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