显微镜装置
 
JP2008166976  2008-6-26  发明申请

2010-1-14
 
  要解决的问题 : 以提供一显微镜装置,用于获得高分辨率的观察图像和N-epi照明一足够量的具有高对比度。溶液 : 所述的显微镜装置1包括 : 两个观察光学系统10包括一物镜透镜11聚光的光从一个对象O; 和一照明光学系统20的一个外延照明装置,用于照明所述对象O通过所述物镜透镜11。所述的照明光学系统20包括 : 两个用于具有一孔径光阑作为分别的光学路径29和引导照明光从光源S设置在所述的照明光学系统20到所述物镜透镜11; 和一光学路径分元件23设置在一个共轭的位置与所述光源S在所述照明光学系统20和引导所述两个光学路径29中所述的照明光。当被看到的从一个方向延伸的一个所述物镜的光学轴11以一图像侧; 所述两个观察光学系统10是通过对所述光学轴线基本上对称设置的所述物镜透镜11。所述两个所述的照明光学系统20的光学路径29被基本上对称设置以一个直线所述两个垂直于所述的光学轴观测光学系统10和在基本上平行于所述的光学轴所述两个观察的光学系统。版权 : (C)2010,inpit
 
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