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方法和装置结合的二次离子质谱和扫描探针显微镜在一个单一仪器

WOEP09058172 2009-6-30 发明申请

2010-1-7

本发明涉及一种分析仪，样品和一种用于分析的方法，包括二次离子质谱法(sims)装置和表面成像显微镜装置。