| 一种扫描电子显微镜，一个接口和一用于观察物体的方法在非真空环境 |
| WOIL09000660 2009-7-2 发明申请 |
| 2010-1-7 |
| 一个接口，一扫描电子显微镜和一用于观察物体的方法，其被定位在一非真空环境。该方法包括 : 所述的真空环境中产生一个电子束; 该对象与所述电子束扫描的一个区域，同时该对象是位于下方的物体保持器; 其中该扫描包括允许所述电子束以通通过的孔的孔径阵列，通过一种超薄膜膜密封该孔，和通过所述物体夹持器; 其中所述的超真空环境之间的薄的膜承受一压力差和所述非真空环境; 和检测颗粒中产生响应于所述电子束和所述对象之间的交互。 |
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