| 一种扫描近场光学显微镜扫描探头 |
| CN200910099467.5 2009-6-8 发明申请 |
| 2010-1-6 |
| 本发明涉及一种扫描近场光学显微镜扫描探头。现有的扫描探头成像质 量较差，技术复杂。本发明包括传感器架、CCD传感器、成像室、滤光片、 图像采集卡。CCD传感器设置在传感器架上，成像室为倒立的内部中空的圆 锥体，成像室底面与传感器架配合连接；CCD传感器芯片的感光面与成像室 的底面位置对应；成像室的锥顶开有小孔，小孔的直径为50～500nm；成像 室内活动设置有滤光片，小孔所在平面、滤光片平面均与成像室底面平行， CCD传感器与图像采集卡信号连接。本发明结构简单，将近场信号直接转化 为一定的图像信号，利用图像处理的方法解调近场信息，避免了背景光的干 扰，具有较高的分辨率。 |
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