| 一种扫描电镜原位观察的全柔性三平移混联微动装置 |
| CN200820217555.1 2008-12-2 实用新型 |
| 2009-12-30 |
| 本实用新型公开了一种扫描电镜原位观察的全柔性三平移混联微动装置。 它包括底座(1、2)、样品台(3)、显微压头支架(4)以及压电陶瓷微驱动器(5a、 5b、5c)，显微压头支架(4)位于样品台(3)上方，所述的全柔性三平移混联微动 装置由二自由度的全柔性平面并联机构与单自由度的全柔性机构串联一起组成 混联机构，二自由度的全柔性平面并联机构为x、y向微动平移结构，单自由度 的全柔性机构为z向微动平移结构。采用上述结构的实用新型，不会引入润滑 剂挥发产生的污染，还可避免振动冲击、摩擦磨损等缺陷；另外，避免了测试 过程各种误差的积累，能够满足高精密要求。 |
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