透射电镜装置包括电子分光镜,样品架,样品台,和用于获取光谱图像的方法
 
WOJP09061062  2009-6-11  发明申请

2009-12-30
 
  一传输电子的显微镜装置(1)被提供有一电子枪(2),一会聚透镜(4),多个样品级(20,21),其上的多个样品(18,19)被设置,一个样品运动控制单元(22)用于移动所述样品阶段(20,21),一个成像透镜(7)用于成像的电子束(3)发送通过所述样本(18,19),一个用于分散所述电子束的电子分光镜(8)(3)通过所述能量量的所述成像电子束(3)和获取一具有不同的会聚位置在一个能量色散光谱图像轴和一方向正交于所述能量色散轴,和一种图像显示单元(14)用于显示所述光谱图像。因此,所获取光谱图像能被同时从所述多个样品,和一种化学位移可以测量与高精度从电子能量损失谱从所提取的光谱图像。
 
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