检测器e。G。雪崩光电二极管,用于激光扫描显微镜校准方法,包括照明的检测器作为参考光检测器和接收测量信号源-特定和检测器的特定的参考值
 
DE102008028708  2008-6-17  发明申请

2009-12-24
 
  所述高度敏感的光检测器灵敏度,例如光电倍增管,降低与增加实际工作时间。因此均匀的测量值是不与所述相同的定量可比较的检测器,其是在不同时间来完成的。为了使所述测量的可比较的结果,它是公知的,以校准所述检测器,其以远或者不准确的或复合物。本发明是这样的一种方式中,以使所述校准可能在小的开销是不同的测量值被可与一个另一具有高精度。作为所述检测器被点亮的光的同时通过一参考源的装置长的长期稳定的关于它们的光学所述检测器的功率输出和一个测量信号是光的特定的取作为参考-源和检测器的特定的参考值; 一电流灵敏度值可以具有小的开销和高精度确定。所述的灵敏度是示出直接通过所述信号强度检测器相对于所述的准恒定光强度所述参考源的光。该校准可以被也完全自动完成。激光扫描显微镜。
 
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