| 悬臂，悬臂系统，扫描探针显微镜，质量传感器装置，弹性测量装置，操纵装置，位移测量悬臂梁的方法，激励悬臂的方法，和悬臂变形的方法 |
| JP2008152127 2008-6-10 发明申请 |
| 2009-12-24 |
| 要解决的问题 : 以提供一主动可弯曲的和可变形的悬臂，和一个悬臂具有所述悬臂的系统。溶液 : 该悬臂2是配备有一杆部10c所述，其被支持的基端侧通过一个体部10b; 和所述悬臂上形成一电阻11，和产生的热量通过一个电压的应用，用于变形所述杠杆由热引起的膨胀部10c的热量产生。版权 : (C)2010，inpit |
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