| 扫描电子显微镜系统及样品探测方法 |
| CN202310779350.1 2023-6-28 发明申请 |
| 2024-1-26 |
| 本申请提供一种扫描电子显微镜系统及样品探测方法，涉及扫描电子显微镜技术领域。该扫描电子显微镜系统包括：由磁透镜和电透镜构成的复合物镜、背散射电子探测器和二次电子探测器；其中，电透镜包括样品，样品的上表面与磁透镜的下表面之间的距离为工作距离；背散射电子探测器包括第一探测组件，第一探测组件的下表面不低于磁透镜的下表面；复合物镜，用于将外界电子源产生的初始电子束聚焦到样品上，并将样品上产生的背散射电子和二次电子进行路径分离；背散射电子探测器和二次电子探测器，分别对背散射电子和二次电子进行探测。上述方式使扫描电子显微镜系统在数值比较小的工作距离下提高分辨率成像和收集效率。 |
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