| 扫描探针显微镜和用于清洗所述相同的方法 |
| JP2008156844 2008-6-16 发明申请 |
| 2009-12-24 |
| 要解决的问题 : 以连续地进行测量而不具有以除去外来物质从一个探头尖端部也不代替一悬臂即使外来物质具有粘附到探针尖端在一个扫描探针显微镜。溶液 : 在一个扫描探针显微镜10用于使一探头16提供用于该悬臂15的一个端扫描沿所述样品的表面30和测量所述的高度和所述物理状态的分布该样品30，该悬臂15的所述谐振频率是所述的测量之前和之后检测所述样品30，以检测所述异物的存在或不存在的所述粘附到所述的所述探针尖端16。当所述谐振频率的所述的悬臂15具有通过一特定值移位从一个初始值或更，所述探头16用于探针扫描所述一个夹具20的表面清洗在其凹部和突起形成以除去外来物粘附到所述的所述探针尖端16。版权 : (C)2010，inpit |
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