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透射电子显微镜栅格的制作方法

US12339337 2008-12-19 发明申请

2009-12-24

本发明提供了一种透射电子显微镜光栅的制作方法。提供一种碳纳米管阵列，并从该碳纳米管阵列中引出碳纳米管膜。衬底具有附接到衬底上的多个间隔开的金属格栅。金属网格被碳纳米管膜覆盖，并用有机溶剂处理碳纳米管膜和金属网格。通过去除残留的CNT膜获得透射电子显微镜(TEM)栅格。