| 用于微钻的扫描电镜检测的固定装置 |
| CN200920130029.6 2009-2-17 实用新型 |
| 2009-12-23 |
| 本实用新型公开了一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置，其包括 承载体；所述的承载体的底面水平，其表面设有垂直于底面的、向上方贯 通的凹槽；所述的固定装置还包括设置在承载体的凹槽外侧的、向凹槽内 的方向提供紧固力的固定件。由于要对微钻的钻尖部分进行检测，就必须 保持钻头垂直于样品台，如有倾斜则不利于观察钻尖部分刃面完整的磨损 形貌特征，而由于扫描电子显微镜的样品仓的空间是很小的，而且样品仓 的载重也是有限的，现有技术中尚没有适合在扫描电镜检测过程中使用的 供夹持微钻的固定装置。 |
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