| 显微镜装置 |
| JP2008147097 2008-6-4 发明申请 |
| 2009-12-17 |
| 要解决的问题 : 以防止在冷凝产生的照明光的光的直径增加从一个增加在一个偏转的速度通过使用一个声光偏转器。溶液 : 所述的显微镜装置1包括 : 所述的声光偏转器4和5，用于偏转该照明发射的光L从光源2; 入射光束整形光学系统3设置在所述的前级声光偏转器4和5，用于调整所述所述的照明光的光通量直径L; 一物镜透镜8用于冷凝所述的照明光L通过该声光偏转器4和5偏转以一样品一种; 一种光瞳之间设置投影光学系统7所述物镜透镜8和所述的声光偏转器4和5，用于调整所述所述的照明光的光通量直径L要由所述光瞳上的入射位置所述物镜的透镜8; 和一个控制部分9控制该入射光束整形光学系统3和所述光瞳投影光学系统7，使得所制成的所述的照明光的光通量直径L入射在该声光偏转器4和5月5日变窄和所述光瞳投影倍率当所述的偏转速度可以增加所述照明光L通过该声光偏转器4和5的装置变得更高。版权 : (C)2010，inpit |
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