| 横截面观察扫描电子显微镜 |
| JP2008146574 2008-6-4 发明申请 |
| 2009-12-17 |
| 要解决的问题 : 以提供一个横截面观察扫描电子显微镜用于允许所述明亮的一个观察的视图横截面。溶液 : 所述的横截面观察扫描电子显微镜包括一第一信号检测器104设置在附近一个位置观察样品103和检测一个二次电子信号或一反射的电子信号，第第一图像存储器114用于存储所述第一的输出信号检测器104，一第二信号检测器105所述的上部分上设置所述观察到的样品103和检测一个二次电子信号或一反射的电子信号，第第二图像存储器124用于存储所述第二的输出信号检测器105，和一个图像操作装置121用于接收所述的输出第一图像存储器114和第二的输出图像存储器124，和掩蔽图像的一个和给出的逻辑操作以一掩模图像和一个非掩模图像以获得这种图像使所述的图像该样品的横截面被强调。版权 : (C)2010，inpit |
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