| 扫描电镜的样品防碰撞检测系统及扫描电镜 |
| CN202311385447.0 2023-10-23 发明申请 |
| 2024-1-23 |
| 本发明公开了一种扫描电镜的样品防碰撞检测系统及扫描电镜，其中扫描电镜包括导电的样品舱和导电的位移台，位移台与样品舱绝缘，导电样品放置于位移台上且随位移台移动，样品舱、导电样品和位移台构成触发开关，系统包括：信号发生器，信号发生器与触发开关相连；其中，在扫描电镜控制位移台移动的过程中，在导电样品触碰样品舱时，触发开关导通，使信号发生器输出触碰信号。该系统能够快速、准确地判断导电样品是否与扫描电镜发生碰撞，进而提高扫描电镜的安全性。 |
微信公众号