| 基板检查装置，基板检查方法，扫描电子显微镜以及使用扫描电子显微镜的图像生成方法 |
| US12480443 2009-6-8 发明申请 |
| 2009-12-17 |
| 本发明的目的是提供一种检查装置和检查方法，其使用电子束图像来精确地检测光学图像中难以检测的缺陷，该装置和方法还能够防止可能降低检查图像的聚焦精度而影响缺陷检测。 为了实现该目的， 本发明包括 : 高度测量部分，用于测量衬底装载到可移动台之后在衬底上的电子束照射位置的高度； 高度校正处理部分，用于校正所测量的高度；以及控制部分，用于根据由高度校正处理部分校正的高度来调整电子束的焦点，其中当高度测量部分测量高度时设置的载物台位置与当用电子束照射衬底时设置的载物台位置不同，并且高度校正处理部分校正由于从用于高度测量的载物台位置移动到用于电子束照射的载物台位置而导致的可能的高度偏差。 |
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