| 距离测量装置，和光学干涉仪和光学显微镜配备有这种 |
| JP2008142845 2008-5-30 发明申请 |
| 2009-12-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一种距离测量装置，其可以进行高精度的测量的距离沿一个光学轴以一测量对象放置在所述的光学轴。溶液 : 所述距离测量装置包括一透明电极44，其被相对设置的所述导电性测量对象2在所述激光干涉仪测量的光L1的光轴1和一个信号处理电路52作为一电容检测装置，其检测所述透明电极44之间的电容和所述测量对象2。基于所检测的电容，该距离测量装置计算的距离d沿着所述的光学轴之间的所述透明电极44和所述测量对象2。版权 : (C)2010，inpit |
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