| 差分干涉显微镜装置 |
| JP2008141120 2008-5-29 发明申请 |
| 2009-12-10 |
| 要解决的问题 : 以提供一个差分干涉显微镜装置,用于观察样品与一种提高对比度,其中外部照明是从一图像侧的一个物镜,即使当执行一狭缝是一聚光透镜上提供侧。溶液 : 所述差分干涉显微镜装置包括所述的聚光透镜与光从光源照射该样品用于传输的照明,第一所述光源和样品之间设置偏振器,一个狭缝型开口设置在一所述聚光透镜光瞳的位置,一剪切干涉仪设置在所述的图像侧的所述物镜,第第二偏振片一图像侧上设置的所述剪切干涉仪,和一个用于外部照明光学部件第二之间设置偏振器和剪切干涉仪。版权 : (C)2010,inpit |