| 一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台 |
| CN202322002407.5 2023-7-28 实用新型 |
| 2024-1-23 |
| 本实用新型公开了一种检测不规则截面的扫描电子显微镜载物台，在转盘固定好样品后，利用电机对样品进行转动，使得样品横截面与电子束光源垂直，使得能够适配不同的样品截面，提高了载物台的适配性。气缸、支杆与底板的设置让转动机构能够适配不同规格的样品，并对样品进行稳定的夹持，使得样品能够更加牢固的固定，提高了载物台对样品的夹持能力。在相邻转盘之间设置有抬升机构，抬升机构能够保证样品截面与电子束光源垂直以及为样品的转动提供空间，具有保证样品角度以及避免样品在转动过程中触碰机体的能力，使得载物台提高准确性以及抗事故能力。 |
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