| 扫描器装置用于扫描探针显微镜 |
| WOJP09002381 2009-5-29 发明申请 |
| 2009-12-10 |
| 本发明公开了一种扫描仪装置，其使高频率扫描和其能够增加所述一个扫描探针的扫描速度显微镜。该扫描器装置(1)用于一个扫描探针显微镜是配备有一Z致动器(7)，其扫描一待扫描的对象在所述扫描方向和Z致动器保持器(11)，其保持所述Z致动器(7)。所述Z致动器保持器(11)保持所述Z致动器(7)具有多个分离的夹持线，其延伸在所述扫描方向。所述Z致动器(7)具有一四边形横截面，例如，所述Z致动器和所述的四个边(7)被保持通过所述Z致动器保持器(11)。所述Z致动器(7)被压入保持孔(29)在所述Z致动器保持器(11)。 |
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