| 纳米管用于扫描探针显微镜探针，其制造方法和扫描探针显微镜 |
| JP2008131470 2008-5-20 发明申请 |
| 2009-12-3 |
| 要解决的问题 : 以解决该问题是，所述的一种纳米管弯曲探头是不恢复由于一个所述的涂膜是通过塑性变形所引起的涂层膜的出血通过所述的电子积累梁在一种结构是一探针座和所述纳米管探针被固定，通过形成该涂层膜和所述的问题。使所述不能通过所述出血的所述边界部分没有确认的一种扫描电子显微镜使它难以以规定的所述纳米管探针的长度，不以决定该所述纳米管探针的长度和刚度，以及以使所述所述探头的个体差，因此可靠性恶化。溶液 : 当所述纳米管探针被固定到所述探针架通过所述涂层膜，所述涂层膜是形成以所述纳米管所述探针的探针在所述尖端夹持器。此外，一切割表面被形成在所述探头侧端子表面的所述涂层膜。版权 : (C)2010，&inpit |
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