| 扫描探针显微镜 |
| JP2008135015 2008-5-23 发明申请 |
| 2009-12-3 |
| 要解决的问题 : 以进行稳定的AM检测，即使如果一个悬臂具有一高Q值是使用在一真空一种间歇模式中的AFM。溶液 : 一个在所述励磁频率变化的一个悬臂4产生由一在一种原子力变化样品1和一探针5之间的作用是检测由一个PLL电路20在所有时间以被所述的悬臂4所述的激励频率。所述频率输入信号输入到一个振幅检测部的翅片11从放大器10用于检测所述幅度是一个频率偏移的量由原子力。换句话说，由于本发明的一个信号量的所述从所述振幅检测部11输出的振幅具有偏移的最大振幅谱，它是可能的，以执行正常测量通过AM检测，即使如果该悬臂具有一在所述的自然频率变化测量期间连续发生的。版权 : (C)2010，inpit |
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