| 非接触扫描探针显微镜 |
| JP2008325961 2008-12-22 发明申请 |
| 2009-12-3 |
| 要解决的问题 : 以提供一种非接触扫描探针显微镜可测量的一个非常易碎的内部结构如生物和有机材料样品在高分辨率，而不损坏内部结构。溶液 : 一样品13被放置在样品台11。一第一探针14是一前表面上设置所述样品级和一个第二的探针15被设置在所述样品级的一个后表面。一个与所述相同的频率交变电流信号作为一机械谐振频率的一悬臂，I。E。，第二探头15，与一个幅度被施加几伏到第一的探针14从一个FM检测模块18，一个信号，其具有由该样品13被感测(检测被调制)通过一引导端第二的探针，所述信号和所述悬臂的谐振。谐振振荡基于这种相互作用被检测为一个电气信号通过该悬臂15，一个振幅变化和所述检测到的信号频率的变化是由一控制PC处理20，和图像信息(映射图像)被形成基于振幅变化信息和频率变化信息。版权 : (C)2010，inpit |
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