| 共焦显微镜 |
| JP2008131749 2008-5-20 发明申请 |
| 2009-12-3 |
| 要解决的问题 : 以实现小型化和降低成本的一个共焦显微镜的同时保持一种应用范围一种样品的观察的。溶液 : 所述共焦显微镜1是配备有一光源11，一扩散板12，一个准直器透镜13; 一偏振板14，一个偏振光束分束器15，一种成像透镜16，λ-波板17，一物镜透镜18，一种光空间调制器20，和一个CCD摄像机29。所述光空间调制器20包括一个LCOS(液晶上的硅)之间是通过夹持液晶构成一反射镜表面状态的硅芯片，其中多个像素被设置和一个表面的玻璃层，并具有结构其中一个驱动电路，用于驱动每个所述像素是嵌入在所述的背侧的所述硅芯片。仅从所述像素是在控制光被传输，使得一个空间光学图案被投影到一个测量样品19的表面通过所述光空间调制器20。然后，从所述测量表面反射的光被直接由该CCD成像摄像机29。版权 : (C)2010，inpit |
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