产业集群信息网

产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

使用聚焦离子束装置和扫描电子显微镜产生半导体结构的三维图像的方法

US12128420 2008-5-28 发明申请

2009-12-3

本发明公开了一种通过迭代地产生一个或多个制造的特征的横截面来产生一个或多个制造的特征的图像的方法。所述方法包括铣削靠近所述一个或多个制造的特征的表面，其中被铣削的表面基本上平行于所述特征所在的层。在每个铣削步骤中，一个或多个制造特征的自顶向下成像产生多个横截面图像。多个横截面图像中的每一个被重构为所制造的特征的表示。