| 一种适用于轻敲模式原子力显微镜针尖与样品间距的检测装置 |
| CN200910087765.2 2009-6-26 发明申请 |
| 2009-12-2 |
| 本发明公开了一种适用于轻敲模式原子力显微镜针尖与样品间距的检测装置，该 检测装置是在现有原子力显微镜的PID控制器上分别连接有DDS信号发生电路和锁 相放大电路，以及对探测器进行改进，本发明中的探测器由双臂石英音叉和探针组成。 在信息检测方面本发明采用激励电压信号作为驱动音叉振动的方式，然后通过检测流 经音叉的电流来确定针尖与样品之间的距离。本发明提出的距离检测采用锁相放大的 处理手段，在得到样品形貌图像的同时可以得到相位图像。本发明设计的探测器的结 构更加简单、体积小、可靠性高。 |
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