| 级扫描器及扫描探针显微镜 |
| JP2008130409 2008-5-19 发明申请 |
| 2009-11-26 |
| 要解决的问题 : 以得到一宽的扫描范围，以及作为，精确的位置控制相关的一个级扫描器，和以提供一个扫描探针显微镜。溶液 : 该级扫描器是一种压电-阶段1的构成由一其上的压电元件的一个阶段是安装; 一阶段位置传感器2用于该级的所述位置转换成电气信号; 一阶段位置检测器3用于接收电气信号从所述级位置传感器2和输出所述位置所述的阶段; 一闭环控制器4用于输入待目标位置信号的所述级，比较所述位置信号与所述获取的该级的位置从所述级位置检测器，用于移动所述级和输出电气信号以一期望的位置根据比较结果; 和一压电驱动器5用于从所述闭环控制器4接收到的电气信号转换成这样的驱动信号作为以驱动所述压电元件和施加所述驱动信号到该压电-级。版权 : (C)2010，inpit |
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