| 光学光栅和制造相同的方法，和线性编码器和光学显微镜配备有光学光栅 |
| EP09159369 2009-5-5 发明申请 |
| 2009-11-25 |
| 一种制造一光学光栅的方法包括 : 形成一第一膜12包括一物质具有一芳香环其成为一种自由基和可经历曝光上解吸到至少一个表面上的光的一个玻璃衬底10(S100)，一光栅图案中暴露第一膜12使用一波长的光，其被可解吸的所述的芳族环在所形成的自由基(S102)，洗涤所述暴露的表面第一膜12与水，从而所述的光内的曝光羟基16-暴露部分(S104)，形成第二膜18通过施加一个具有一个氨基的物质能够与所述羟基基团的键合的暴露在一光栅图案所述表面上的第一膜12通过所述的水洗涤，从而反应所述的氨基基团与所述羟基组(S106)，提供催化剂核到第二膜18，以形成催化剂核层(S108)，和形成一个光反射层通过无电解电镀到所述催化剂核(S110)。 |
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