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对电子显微镜下研究的样品的漂移校正的自动应用

WOUS23061348 2023-1-26 发明申请

2023-8-3

公开了用于校准透射电子显微镜的方法和系统。样品架上的基准标记用于识别已知的参考点，从而可以定位样品架上的电流收集区域和通孔。进行多个射束电流和射束面积测量，并且从针对显微镜参数的全范围的测量外推校准表。校准表然后用于确定在给定配置下的实验期间样品的电子剂量。