| 扫描电子显微镜 |
| JP2008124166 2008-5-12 发明申请 |
| 2009-11-19 |
| 要解决的问题 : 以提供一种测量方法和装置，其中可以实现高再现性，而不管的一图案的测量方法中的放大倍数的开关和所述装置使用一种扫描电子显微镜的一个扫描探针或该等。溶液 : 该扫描电子显微镜被提供在其基于获得的信号上形成的线轮廓是由与一个电子束扫描样品。当一个规定的定时处进行采样，平滑进行基于所述的平均值所获得的信号通过一取样点和其前和后取样点，和数的采样提供用于所述平滑比例中被改变到所述扫描电子显微镜的放大率。版权 : (C)2010，inpit |
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