| 扫描电子显微镜 |
| JP2008317814 2008-12-15 发明申请 |
| 2009-11-19 |
| 要解决的问题 : 提供一种扫描电子显微镜能满足要求的用于低费用，简单的可操作性，和合适的图像质量由于存在从用户被要求用于一种低真空扫描电子显微镜具有特性，其中一个二次电子放大所述的基础上的残留气体分子的方法在所述样品的附近和一种方法用于形成一图像通过使用吸收的电流被尝试制作和一个精细的表面结构的观察和一个三-维图像可以导致可能的，因为所述的图像是非常类似于一个二次电子图像。溶液 : 在所述的低真空扫描电子显微镜，一种二次使用一个二次电子探测器的电子收集器电极，用于观察在所述高真空被施加的时间作为一个基本主其是一基座。所述的低真空扫描电子显微镜被形成到一个环-形样品中的电极排列顺序中的细调整级到目的产量增加和改进图像质量上，和用于图像观察的观察条件自动设定功能被使用这种这些电极结构上。版权 : (C)2010，inpit |
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