使用非均匀偏振的扫描显微镜
 
US12464761  2009-5-12  发明申请

2009-11-19
 
  一种用于对表面成像的设备,包括声光(AO)系统。 AO系统包括具有辐射输入表面和辐射输出表面的AO元件。 所述元件被配置为接收射频(RF)脉冲和在所述辐射输入表面处的辐射输入,并从所述辐射输出表面产生行进光束。 AO系统还包括相对于AO元件定位的非均匀偏振发生器,使得AO系统输出行进的非均匀偏振光束。 所述装置包括物镜,所述物镜被配置为将非均匀偏振光束聚焦到所述表面上,从而在其上形成相应的传播光点; 收集光学器件,其被配置为收集来自行进斑点的散射辐射并聚焦散射辐射以形成相应的图像斑点; 以及检测器,其被布置成接收相应的图像斑点并响应于该图像斑点产生信号。
 
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