| 一种运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法 |
| CN200910062754.9 2009-6-19 发明申请 |
| 2009-11-18 |
| 一种运用扫描电子显微镜测量孔坑深度的方法，包括(1)确定孔坑 上的测量点：A1和A2，A1位于孔坑的孔坑底部，A2位于孔坑外边缘上； (2)测量点A1至所述扫描电子显微镜的镜筒极靴的距离Z1，所述Z1 值通过计算机软件将其显示输出；(3)测量点A2至所述扫描电子显微 镜的镜筒极靴的距离Z2，所述Z2值通过计算机软件将其显示输出；(4) 计算出孔坑深度h，h＝Z1-Z2。本发明具有在显微尺度对一般宏观上无法 测量的微米级孔坑、刻痕等进行深度测量的效果。 |
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