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利用扫描电子显微镜制造肖特基二极管的方法

KR1020220011584 2022-1-26 发明申请

2023-8-2

关于使用扫描电子显微镜的肖特基二极管的制造方法以及由此制造的肖特基二极管，因为肖特基二极管是使用扫描电子显微镜(SEM)制造的，所以通过排除进行常规电子束光刻必须考虑的各种因素，例如设备使用、设备准备、批量生产以及电子束光刻本身的复杂工艺，可以减少生产所需的各种时间和空间成本。