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测量用于一种扫描探针显微镜和操作的方法，其

EP08009133 2008-5-16 发明申请

2009-11-18

一种用于一种测量仪器测量探头具有一测量与其连接的尖端包括一本体和一个致动器适合于以一第一之间表现出一种力部分的所述本体的所述本体和一第二部。所述本体具有一种弹性模式的振荡其中一个的一第一部的一位移的幅度所述体相对于所述本体的一第二部是小于一位移的幅度的所述测量所测量的尖端尖相对于一静止位置。