| 扫描电子显微镜 |
| US11953496 2007-12-10 发明授权 |
| 2009-11-17 |
| 本发明是针对一种电子显微镜的问题而提出的，在该电子显微镜中，应当通过消除通过物镜中的间隙的漏磁场对从样品发射的电子的任何影响来防止由检测器检测到的电子的检测效率的降低。 为了解决该问题，本发明提供了一种电子显微镜，其具有以下配置 : 极片电极，用于加速在电子源处发射的初级电子； 以及包括极片电极的物镜。 在物镜中，在极片电极和其它极片之间形成电绝缘和磁绝缘的间隙，并且辅助线圈与物镜同心地设置在间隙和电子检测器的检测表面之间的中间位置，其中电流沿与流过物镜线圈的电流相反的方向流过辅助线圈。 |
微信公众号