| 扫描探针显微镜调谐所述的方法和用于其实现所述扫描探针显微镜 |
| RU2008116296 2008-4-28 发明申请 |
| 2009-11-10 |
| 1。调谐该扫描探针显微镜所述的方法，其包括所述聚焦所述的系统的所述视频监视显微镜下的该调查下样品的表面或探针，与所述后续显微镜校准的所述的扫描器和\/或探针的旁边定位所必要的区域的所述模型的表面，使其特征在于，所述的事实所述的扫描器和\/或定位的校准所述的基础上的探针进行该干扰图案，通过获得所述的附加使用一源的所述的光的光通量和所述流的分离旁边的两个相干光的流动，其通过不同的光学路径，和然后它们被降低了在一起，它们被发送在所述点的所述系统所述视频的监视显微镜的或所述的附加视频监视的系统，而且与所述校准的扫描器反射基于该模型的表面上和\/或探头经过一个的所述光束，探针的反射和定位期间基于该模型的表面上进行所述光通量。!2。扫描探针显微镜，其包括视频监视所述的系统，样品架，扫描器，探针，探针的所述保持器和样品架系统用于所述的位移，使其特征在于，所述的事实所述显微镜另外包含，固定与所述姿态感测的可能性，所述光通量的源，反射元件和光学分割元件的两个通过，和反映所述光通量的一部分，其从所述源; 此外样品架是位于所述的光的流动超过一个的所述的方式，反射或传递由分割元件，和光反射元件在所述的方式第二的流动，因此，为了该运动所述光通量的，基于所述的表面上反射的反射元件和从 |
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