| 光学显微镜装置和数据处理器，用于光学显微镜 |
| JP2008104155 2008-4-11 发明申请 |
| 2009-11-5 |
| 要解决的问题 : 增加一高度位置校正功能，以一图案匹配，为了允许三-维一个模板测量和通过所使用的图像处理。溶液 : 一个ROI参考图像是一个参考图像中指定(S1)，所述特性的该ROI的参考图像被提取(S2)，和基于所述特性，一个区域中的一个图像等效于该参考图像的ROI; 即，(ROI目标图像)被检索到的从一个目标图像(S3)。接着，该X-位置，Y-位置和[!θ!]-所述整个目标图像的位置被校正，使得该ROI的目标图像和所述ROI参考图像可以一个两维平面上变得相同(S4)。接着，该ROI的参考图像被提取的所述的平均高度(S5)，然后，该整个目标图像是校正使所述该ROI的目标图像的平均高度可以等于该ROI的平均高度参考图像(S6)。通过一系列的处理，该位置(包括高度)的所述参考图像和所述目标图像对准与每个其它。版权 : (C)2010，inpit |
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