| 扫描型激光显微镜 |
| JP2008104278 2008-4-14 发明申请 |
| 2009-11-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一种扫描型激光显微镜，其获取高度信息，即使在一个样品具有一个陡斜率，与高精度。溶液 : 一物镜透镜5会聚的照明光被所述样品上的激光光6。一偏振光束分离器2分离时从所述样品6反射的光所照射的样品6是与所述的照明通过所述物镜透镜5会聚的光从所述的光学路径所述的照明光，穿过后所述物镜透镜5。一个光检测器9检测所反射的光强度穿过针孔8后被一个共焦光阑，所述反射的光通过该偏振光束分离器2分离。一个1\/4波长板4可以插入和除去至所述偏振之间和从所述光学路径分束器2和样品6和将所述所述的照明光的偏振特性和所反射的光。版权 : (C)2010，inpit |
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