| 电子显微镜检验部件的装置 |
| JP2008175785 2008-7-4 发明申请 |
| 2009-11-5 |
| 要解决的问题 : 以提供一电子显微镜检验部件的装置，其可以获得一种传输的图像一种检验部件，即使如果该试片是倾斜靠电子的光学轴。溶液 : 本发明涉及电子显微镜检验部件的所述的装置在其电子束3从一个电子枪2被辐射到该试片S设置在一个检验部件室9和在其一个试片基于所述电子束发射所述检验部件的图像被获得。所述检验部件的装置包括一试片夹持器32用于支撑一个检验部件的保持器33，一测角仪31在其该试片S进行的运动和倾斜，一测角仪的支撑体30安装在一试片室壁，使得其一个端部被定位在所述检验部件室9，一种气体气氛容器34在其相对应的部分到所述尖端面具有一开放的天花板，和电子束通过孔分别开在该上壁和所述底壁垂直于所述的电子光学轴线O，和一个容器支撑管37其中所述尖端被安装在所述气体气氛的容器34，在其中气体是由待introducible在所述容器34，和其被安装在所述检验部件室9中，作为可移动所述垂直方向以所述的电子光轴O的版权 : (C)2010，inpit |
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