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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

原子力显微镜的针尖的检查方法及半导体装置的制造方法

US17878414 2022-8-1 发明申请

2023-6-22

提供了一种操作原子力显微镜(AFM)的方法。该方法包括通过使用AFM检查样品和通过使用表征样品检查AFM的探针的尖端。表征样品包括包含第一高度的线和间隔图案的第一表征图案、包含低于第一高度的第二高度的线和间隔图案的第二表征图案、以及包含低于第二高度的第三高度的线和间隔图案的第三表征图案，并且包括粗糙表面。