| 样品定位装置，特别是用于扫描探针显微镜，特别是原子力显微镜，包括采样表和两个样品表驱动; 其中一个样品台驱动具有柱塞线圈装置 |
| DE102008020982 2008-4-25 发明申请 |
| 2009-10-29 |
| 本发明涉及一种样品定位装置，特别是用于一光栅探针显微镜，与样品台(12)，一个第一样品表驱动器(14)，其与所述样品台(12)被机械地耦合，以诱导该样品台(12)。在第第一方向(X)，一第二样本表驱动器(16)，其与所述样品台(12)被机械地耦合; 以移动该样品台(12)成一个第一的方向(X)不同的第二方向(Y)。它是根据本发明的意图是第一样品表驱动器(14)具有一第一柱塞装置。 |
微信公众号