| 三个三维膜结构分析方法使用扫描探针显微镜，三个三维膜结构分析仪和三个三维膜结构的测量方法扫描探针显微镜 |
| JP2008097981 2008-4-4 发明申请 |
| 2009-10-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一个三-一个扫描探针显微镜的三维膜结构的测量方法可测量的所述各层的表面形状在每一种半导体装置的一制造过程中的制造过程具有一多层结构，以合成所述测量结果和能够分析和评价那些测量结果的使用所述的数据一多层。溶液 : 所述三个三维膜结构分析方法使用所述扫描探针显微镜具有一个测量步骤(S12和S14)，用于测量所述多个任意的层的表面形状一结构中的多个层的形成在当每个的多个所述的每个时间任意层被形成(步骤S11和S13)通过一个原子力显微镜或等和一种测量数据的合成步骤(步骤S16)，用于对准所述测量数据相关，以该一定层的表面形状和所述测量相关的数据到所述第二层的表面形状另一个层的关系中，以所述相同的两-层表面上的三维区域和三-维排列所述测量数据。所述的基础上的一个层间的距离，以形成三个三维膜结构。版权 : (C)2010，inpit |
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