| 用于扫描探针显微镜探针单元 |
| JP2008101953 2008-4-9 发明申请 |
| 2009-10-29 |
| 要解决的问题 : 以提供一种用于扫描探针显微镜探针单元适合用于利用用于严格管理该一种形状的深度具有一个相对大孔径500nm到一个几微米的尺寸，一种深度的一几微米，和一种高方面比例如一种通过孔的连接每个布线层和管理所述的一个底部分表面粗糙度。溶液 : 所述用于扫描探针显微镜探针单元10包括一杆部13具有一个固定端和所述其它的自由端和一个探头12提供用于所述所述杠杆的自由端部。一种碳纳米管14被安装在从所述尖端部的所述探头向其连接部分到所述杆部13在这样的一种方式为，以可沿所述探头和使所述尖端的所述碳所述的纳米管从所述尖端部分突出5月14日探头12。版权 : (C)2010，&inpit |
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