| 非接触扫描探针显微镜 |
| WOJP09000591 2009-2-16 发明申请 |
| 2009-10-29 |
| 一个样品(13)被放置在样品台(11)，第一探头(14)被设置在所述前表面所述样品级和一个第二的探针(15)被设置在所述后表面的所述样品级。一个在一个频率相同的交变电流信号作为所述的机械谐振频率的一悬臂，I。E。，第二探头(15)，与一个幅度被施加几伏到第一的探针(14)从一个FM检测模块(18)，一个信号，其具有通过所述样品被调制(13)被感测(检测)通过一个引导端部第二的探针(15)，和该悬臂通过这种共振信号。所述谐振振荡基于这种相互作用被检测为一个电气信号通过所述悬臂(15)，一个该检测信号幅度的变化和频率变化是通过一个控制处理的PC(20)，和图像信息(基于映射图像)被形成在幅度变化信息和频率变化信息。 |
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